纳米氧化铈DXN-CE50
CAS号：1306-38-3
化学式：CeO₂
产品规格：1KG|25kg
库存状态 ：有库存
纳米氧化铈参数
外观: 淡黄色粉末
纯度: 99.95%
形貌: 球形
粒径范围: 10-20nm
比表面积: ＞50m²/g
纳米氧化铈简介
纳米氧化铈，纯度高、粒径尺寸小、分布均匀、具有比表面积大、催化性能优异、光学性能良好等特点。
纳米氧化铈应用
达西浓 DXN-CE50 纳米氧化铈粉末，是专为半导体精密抛光领域打造的高端稀土功能材料。产品粒径控制在 10 纳米以下，颗粒均匀、分散性优异、纯度高，具备优良的化学活性与物理稳定性。在化学机械抛光（CMP）过程中，可实现对硅片、衬底及相关半导体器件的高精度、低损伤抛光，有效提升表面平整度与加工效率。依托稳定的生产工艺与严格的品质管控，达西浓 DXN-CE50 纳米氧化铈粉末能够满足先进半导体制造对抛光材料的严苛要求，为半导体芯片加工提供可靠的材料支撑。
纳米氧化铈检测数据
| 检验项目 Inspection items | 单位 Unit | 技术要求 Technical requirements | 单项判定 Single judgment |
|---|---|---|---|
| TREO | % | 99 | 合格 Qualified |
| La2O3/TREO | % | 0.01 | 合格 Qualified |
| CeO2/TREO | % | ＞99.95 | 合格 Qualified |
| Pr6O11/TREO | % | <0.005 | 合格 Qualified |
| Nd2O3/TREO | % | <0.005 | 合格 Qualified |
| Sm2O3/TREO | % | <0.005 | 合格 Qualified |
| Y2O3/TREO | % | <0.001 | 合格 Qualified |
| CaO | % | 0.0015 | 合格 Qualified |
| MgO | % | <0.001 | 合格 Qualified |
| Fe2O3 | % | 0.001 | 合格 Qualified |
| AL2O3 | % | <0.002 | 合格 Qualified |
| CL | % | 0.03 | 合格 Qualified |
| SEM | nm | 50 | 合格 Qualified |
| SSA | m2/g | 45 | 合格 Qualified |
